Monitorovací systémy procesu vakua PPR100/200/300

PPR 100/200/300 amu. Monitorovací systém procesu vakua pro vysoké tlaky. Redukce tlaku 0.01, 0.1, 1 nebo 10 Torr.

Bližšie informácie o produkte

Vstupní tlak 0.01, 0.1, 1.0 nebo 10 Torr
Tok až 3 × 10^-5 Torr-L/s
Doba odezvy 2 sekundy (0.1 Torr)
Systémy pro 100, 200 nebo 300 amu (PPR100/200/300)
Vyměnitelný elektronový násobič a vlákno
6 řádů dynamického rozsahu
Software RGA pro Windows

- Monitorovací systém PPR je navržen pro monitorování a diagnostiku procesů. Do analyzátoru zbytkového plynu vstupují 2 cesty: vysoce vodivá cesta pro vakuové monitorování a redukční cestu ke sledování procesu při provozním tlaku. Redukční cesta obsahuje otvor, který je určen pro provoz při jednom z uvedených tlaků: 0.01, 0.1, 1 nebo 10 Torr.
- Redukuje vzorkovaný tlak na provozní tlak monitorovacího systému (asi 10^-6 Torr). Tento snížený tlak je veden čerpacím systémem, který se skládá z hybridního turbomolekulárního a membránového čerpadla. Obě čerpadla jsou bezolejové, takže nekontaminují proces.
- Dodávaný software se používá pro provoz přístroje v různých režimech včetně analogového skenování, režimu histogramu a režimu zobrazení tlaku v závislosti na času.

- Elektronový násobič poskytuje zvýšenou citlivost a vyšší rychlost skenování. Celý systém je dodáván kompletně sestavený a zkalibrovaný a je připraven na připojení k Vaší vakuové komoře.

Nominální čas spuštění je 8 minut
Vstup - 2.75" CF příruba, otočná s otvory
Kabel od turbo-čerpadla k regulátoru 1,8 m dlouhý (součástí dodávky)
Pružná hadice od turba k podpůrnému čerpadlu 1,8 m dlouhý (součástí dodávky), 1/4" ID × 7/16" OD
Počítačové rozhraní RS-232C (28,800 baud, 9-pin D konektor)
Aplikace pro Windows
Hybridní turbomolekulární čerpadlo 70 L/s, maximální tlak 2 × 10^-9 mbar
Membránové čerpadlo do tlaku 1 mbar.
Stupeň krytí IP44
Vyžaduje nucené chlazení vzduchem